ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-390 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 390 нм
SPL-RFHG-390 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 390 нм
- Длина волны 390 нм.
- Выходная мощность до 8 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 390 | нм | |||||
Рабочий режим | CW | ||||||
Выходная мощность | ≥ 0,05 | ≥ 1 | ≥ 3 | ≥ 6 | ≥ 8 | Вт | |
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) | ≤ 40 | кГц | |||||
Качество пучка М2 | ≤ 1,3 |
|
|||||
Диаметр пучка | ~ 1 | мм | |||||
PER | линейная, ≥ 20 | дБ | |||||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) | ≤ 0,75 | % | |||||
Охлаждение
|
воздушное | водяное | |||||
Профиль пучка
|
TEM00 | ||||||
Расходимость пучка
|
≤ 1 | мрад | |||||
Рабочая температура
|
15 -30 | 15 -35 | ℃ | ||||
Источник питания
|
100-240, AC | В |
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Генераторы изображений.