ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-M-258 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 258 нм
SPL-RFHG-M-258 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 258 нм
SPL-RFHG-M-258 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.
- Длина волны 258 нм.
- Выходная мощность до 0,1 / 0,5 / 1 Вт.
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,3.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-RFHG-М-258 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии сочетает в себе усилитель на иттербиевом волокне с низким уровнем шума и технологию четырехкратного умножения частоты для генерации узкополосного излучения.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Низкий уровень шума.
- Высокая выходная мощность.
- Стабильность мощности ≤ 1 %.
- Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
| Параметр |
Значение |
Ед.измерения | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Длина волны | 258 | нм | ||||
| Рабочий режим | CW | |||||
| Выходная мощность |
≥ 0,1 |
≥ 0,5 | ≥ 1 | Вт | ||
| Диаметр пучка | 0,8 - 1,2 | мм | ||||
| Ширина спектральной линии |
≤ 40 |
кГц | ||||
| Качество пучка М2 |
≤ 1,3 |
|
||||
| RIN | 0,08 | % | ||||
|
PER |
≥ 20 |
дБ | ||||
|
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 1 |
% | ||||
| Охлаждение | водяное / воздушное |
|
||||
|
Источник напряжения
|
100 - 240, AC | В | ||||
|
Интерфейс
|
RS422 | |||||
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Атомная физика.
- Спектроскопия.
Мой заказ