SPL-RFHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм

SPL-RFHG-488 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии. 
  • Длина волны 488 нм. 
  • Выходная мощность до 2 / 5 Вт
  • Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц. 
  • Качество пучка ≤ 1,1. 
  • Высокая стабильность.
Производитель:  FEX-LASER

SPL-RFHG-488 - УФ лазеры с одночастотной генерацией на 488 нм, основанные на усилении в тулиевом волокне (Tm-doped) с низким уровнем шума и технологии четырехкратного умножения частоты.

Особенности:

  • Узкая спектральная линия.
  • Низкий уровень шума.
  • Высокая выходная мощность.
  • Стабильность мощности ≤ 0,75 %.
  • Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.

Параметр Значение
Ед.измерения
Длина волны 488 нм
Рабочий режим  CW  
Выходная мощность ≥ 2 ≥ 5 Вт
Ширина линии (интегрирование 100 мкс)
≤ 40
кГц
Диапазон тепловой настройки ≥ 0,25 нм
Диаметр пучка 0,7 - 1 мм
Диапазон настройки мощности 10 - 100 %
Стабильность направления пучка ≤ 50 мрад
Профиль пучка TEM00
Качество пучка М2 ≤ 1,1

PER
линейный, ≥ 20
дБ
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч)
≤ 0,75

Охлаждение воздушное / водяное
Источник напряжения 100 - 240, AC В
Интерфейс
RS422  

Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.

  • Фотолитография.
  • Микроэлектроника.
  • Диагностика пластин.
  • Квантовое моделирование.
  • Лазерная спектроскопия.
  • Медицина и биофотоника.

Модель Описание
SPL-RFHG-488-2 Одночастотный УФ лазер для фотолитографии. Длина волны 488 нм. Мощность ≥ 2 Вт.
SPL-RFHG-488-5 Одночастотный УФ лазер для фотолитографии. Длина волны 488 нм. Мощность ≥ 5 Вт.
Назад к разделу

Мой заказ