ГлавнаяКаталогНепрерывные лазерыВолоконные одночастотные лазеры научного классаВолоконные лазеры с преобразованием частоты от УФ до ближнего ИК, 193 - 1030 нмSPL-RFHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм
SPL-RFHG-488 - одночастотный УФ лазер для фотолитографии на 488 нм
SPL-RFHG-488 – УФ лазер с одночастотной генерацией, предназначенный для использования в системах фотолитографии.
- Длина волны 488 нм.
- Выходная мощность до 2 / 5 Вт
- Ширина спектральной линии ≤ 40 кГц.
- Качество пучка ≤ 1,1.
- Высокая стабильность.
Производитель: FEX-LASER
SPL-RFHG-488 - УФ лазеры с одночастотной генерацией на 488 нм, основанные на усилении в тулиевом волокне (Tm-doped) с низким уровнем шума и технологии четырехкратного умножения частоты.
Особенности:
- Узкая спектральная линия.
- Низкий уровень шума.
- Высокая выходная мощность.
- Стабильность мощности ≤ 0,75 %.
- Устойчивость к температурным и вибрационным воздействиям.
Параметр |
Значение |
Ед.измерения | |||
---|---|---|---|---|---|
Длина волны | 488 | нм | |||
Рабочий режим | CW | ||||
Выходная мощность | ≥ 2 | ≥ 5 | Вт | ||
Ширина линии (интегрирование 100 мкс) |
≤ 40 |
кГц | |||
Диапазон тепловой настройки | ≥ 0,25 | нм | |||
Диаметр пучка | 0,7 - 1 | мм | |||
Диапазон настройки мощности | 10 - 100 | % | |||
Стабильность направления пучка | ≤ 50 | мрад | |||
Профиль пучка | TEM00 |
|
|||
Качество пучка М2 |
≤ 1,1 |
|
|||
PER |
линейный, ≥ 20 |
дБ | |||
Стабильность мощности (rms в течение 3 ч) |
≤ 0,75 |
|
|||
Охлаждение | воздушное / водяное |
|
|||
Источник напряжения | 100 - 240, AC | В | |||
Интерфейс
|
RS422 |
Наша компания является эксклюзивным представителем и сервисным центром по обслуживанию лазеров Fex-laser на территории России и ЕАЭС.
- Фотолитография.
- Микроэлектроника.
- Диагностика пластин.
- Квантовое моделирование.
- Лазерная спектроскопия.
- Медицина и биофотоника.